主要特征: • 采用软件算法经过严格、规范的组装及调试 • 采用开放式高分辨率玻璃光栅尺,精度达0.05μm • 直流伺服电机 • 采用高精度运动控制卡 • 高精度全铝工作台结构,XY平面精度校验方式,空间精度 • 四轴CNC控制,运行稳定 • 连续自动无人工校验,可以直接使用 • 造型及结构经过设计团队设计。
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